依照客戶設計圖檔加工，可以開出高深寬比及高精度之微孔或微流道，以供客戶製作生物晶片或微機電(MEMS)等微細加工製程使用。

適合材料：玻璃、矽晶片、壓克力、PMMA
最小線寬：10μm
加工孔徑：10μm以上
最大深寬比：1:10
加工精度：孔徑 ±1μm
位置精度：5μm以內
加工面積：150mm*150mm

領先業界優勢

一、 配合在各式材料上開立微流道。
二、 加應用於寬深比高的困難加工。