依照客户设计图档加工，可以开出高深宽比及高精度之微孔或微流道，以供客户制作生物晶片或微机电(MEMS)等微细加工制程使用。

适合材料：玻璃、矽晶片、压克力、PMMA
最小线宽：10μm
加工孔径：10μm以上
最大深宽比：1:10
加工精度：孔径 ±1μm
位置精度：5μm以内
加工面积：150mm*150mm

领先业界优势

一、 配合在各式材料上开立微流道。
二、 加应用於宽深比高的困难加工。