
微切割技術
l 激光微切割是一种非接触式工艺,可用于制造各种非常复杂的形状零件。 与传统的切割或锯切相比,可以获得非常小的切割宽度或切缝宽度。
l 激光微切割还可用于例如最终零件的分离,或留出凸耳以用于随后的最终零件去除。 它也可用于有效地去除基材内的区域,从而形成较大的孔,槽或窗口。
l 激光切割不仅可以产生与传统切割或锯切技术相同的线性切割,而且由于能够在任何方向上操纵光束,因此可以在原始基板材料中产生任何形状的切割。
l 微切割的应用:
l 铝箔、薄膜 、微型机械零件、半导体晶圆
l 切割精度 : 最小切割宽度5微米(µm)
l 材质厚度 : 最大材料厚度1毫米(mm)(取决于速度要求)
l 可微加工材质 : 包括透明材料、金属、聚合物、玻璃和陶瓷,客户指定材料需验证