使用光學式感測元件作為位置資訊回饋核心。本產品系列適用於各種需要超高精密定位與運動操作的場合，並具備可靠穩定的定位能力與多樣的解析度

可程式設計自動/半自動奈米微動機X/Y/Z（單軸）、X-Y （ X-Z、Y-Z雙軸）、X-Y-Z（三軸）和旋轉平臺