使用光学式感测元件作为位置资讯回馈核心。本产品系列适用於各种需要超高精密定位与运动操作的场合，并具备可靠稳定的定位能力与多样的解析度

可程式设计自动/半自动奈米微动机X/Y/Z（单轴）、X-Y （ X-Z、Y-Z双轴）、X-Y-Z（三轴）和旋转平台