客制化透镜
光学微透镜工艺
光刻技术 :
- 1.允许将多种形状的光学元件连接到一个表面（六边形，正方形，圆柱，圆形或不规则微透镜），包括球面和非球面，凹面和凸面并可以与变形材料一起使用 (BK7, fused silica, glass)
- 2.可以是非对称形状
- 3.支援晶圆级，处理4×4“尺寸的晶圆并将其切成单独的MLA尺寸，还设计了单片2面微透镜阵列。
- 4.可以用6×6”晶圆以实现大批量生产
镭射直写 :
- 高光学深度的任意自由成形工艺
- 允许将多种形状的光学元件连接到一个表面
- 非对称形状
- 极低的粗糙度 (Ra<1nm, 10um spatial period)
- 极低散射 = 高效率
- 保持熔融石英高的镭射诱导损伤阈值(LIDT，Laser induced damage threshold)
